梓凈分享:電子廠潔凈無塵車間廠房的室內裝修標準

電子廠萬級潔凈廠房的特性：潔凈廠房等級規定高，排風量、溫度濕度、壓力差、機器設備排風系統按需可控，光照強度、潔凈室橫截面風力按設計構思或標準可控，另一個此類潔凈廠房對靜電感應規定極為嚴苛。在其中對環境濕度的規定尤其嚴苛。假如工業廠房過度干躁則易造成靜電感應，導致CMOS集成化毀壞。

通常情況下，電子器件工業廠房的溫度應操縱在22℃上下，空氣濕度操縱在50-60%中間(獨特凈化車間有有關溫度濕度要求)。這時候可合理地靜電消除，并使人覺得舒服。集成ic裝配車間、集成電路芯片潔凈室和硬盤生產制造生產車間是歸屬于電子器件加工制造業潔凈室的關鍵構成，因為電子設備在生產制造、加工過程中對室內空氣質量自然環境和質量的規定極其嚴苛，關鍵以操縱顆粒和塵土為關鍵另一半，一起還對其自然環境的溫度濕度、空氣清新量、噪音等作出了嚴苛的要求。

電子器件生產廠萬級清潔房間內的噪音級(空態)：不可超過65dB(A)

●電子器件生產廠潔凈室豎直流潔凈室布滿比不可低于60%，水準單邊流潔凈室不可低于40%，不然就是說部分單邊流了。

●電子器件生產廠潔凈室與戶外的負壓差不可低于10Pa，不一樣氣體潔凈度等級的清潔區和非清潔區中間的負壓差不可低于5Pa

●電子器件加工制造業萬級清潔房間內的空氣清新量宜用以下二項中的最高值：賠償房間內風量和維持房間內正壓力值需要的空氣清新量相加。

●保證供給清潔房間內每位每鐘頭的空氣清新量不低于40m3。

●電子器件加工制造業潔凈室空調凈化系統軟件電加熱器，應設定新風系統，過熱關閉電源維護，若選用點增濕器時要設定沒有水維護，嚴寒地域，家用新風系統應設定防寒保障措施。潔凈室的排風量，宜用下邊3項最高值：

●確保電子器件生產廠潔凈室氣體潔凈室等級的送風量

●依據熱，濕負載測算明確五金廠潔凈室的送風量

●向電子器件生產廠清潔房間內供求平衡的清新空氣量

10.1 凈 化 區

10.1.1 生產環境的潔凈度等級應符合下列要求：
1 芯片生產廠房內各潔凈區的空氣潔凈度等級應根據芯片生產工藝及所使用的生產設備的要求確定;
2 潔凈度等級的劃分應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的規定;
3 潔凈區設計時，空氣潔凈度等級所處狀態應根據生產條件確定。

10.1.2 生產環境的溫度、相對濕度指標應按芯片生產工序分別制定。一般潔凈區溫度應控制在22℃±0.5℃～22℃±2℃，相對濕度應控制在43%±3%～45%±10%。

10.1.3 潔凈區內的新鮮空氣量應取下列最大值：
1 補償室內排風量和保持室內正壓值所需新鮮空氣量之和;
2 保證供給潔凈區內人員所需的新鮮空氣量。

10.1.4 潔凈區與周圍的空間應按工藝要求，保持一定的正壓值，并應符合下列規定：
1 不同等級的潔凈區之間壓差不應小于5Pa;
2 潔凈區與非潔凈區之間壓差不應小于5Pa;
3 潔凈區與室外的壓差不應小于5Pa。

10.1.5　氣流流型的設計，應符合下列要求：
1 氣流流型應滿足空氣潔凈度等級的要求;
2 空氣潔凈度等級要求為1級～4級時，應采用垂直單向流;
3 空氣潔凈度等級要求為5級時，宜采用垂直單向流;
4 空氣潔凈度等級要求6級～9級時，宜采用非單向流。

10.1.6 潔凈區的送風量，應取下列最大值：
1 為保證空氣潔凈度等級的送風量;
2 消除潔凈區內熱、濕負荷所需的送風量;
3 向潔凈區內供給的新鮮空氣量。

10.1.7 凈化系統的型式應根據潔凈區面積、空氣潔凈度等級和產品生產工藝特點確定。

10.1.8 潔凈區的送風宜采用下列方式：
1 潔凈區面積較小、潔凈度等級較低且潔凈區可擴展性不高時，宜采用集中送風方式;
2 潔凈區面積大、潔凈度等級較高時，宜采用風機過濾器機組(FFU)送風。

10.1.9 對于面積較大的潔凈廠房宜設置集中新風處理系統，新風處理系統送風機應采取變頻措施。

10.1.10 對于有空氣分子污染控制要求的區域，可采取在新風機組及該區域風機過濾器機組上加裝化學過濾器的措施。

10.1.11 干盤管的設置應符合下列要求：
1 應根據生產工藝和潔凈區布局確定合理的安裝位置;
2 應根據處理風量、室內冷負荷、風機過濾器特性確定干盤管迎風面速度和結構參數;
3 應采取保證進入干盤管的冷凍水溫度高于潔凈區內空氣露點溫度的措施;
4 應設置檢修排水設施。

10.2 工藝排風

10.2.1 硅集成電路芯片工廠的工藝排風系統設計，應按工藝設備排風性質的不同分別設置獨立的排風系統。

10.2.2 凡屬下列情況之一時，應分別設置獨立的排風系統：
1 兩種或兩種以上的氣體有害物混合后能引起燃燒或爆炸時;
2 混合后發生反應，形成危害性更大或腐蝕性的混合物、化合物時;
3 混合后形成粉塵時。

10.2.3 潔凈區事故排風系統的設計應符合現行國家標準《采暖通風與空氣調節設計規范》GB 50019的規定。

10.2.4 使用有毒有害物質的房間排風量應滿足最小通風量6次/h。

10.2.5 生產廠房工藝排風系統應設置備用排風機，并應設置不間斷電源(UPS)。當正常電力供應中斷情況下，應保證工藝排風系統的排風量不小于正常排風量的50%。

10.2.6 生產廠房工藝排風系統宜設置變頻調節系統。

10.2.7 易燃易爆工藝排風管道上不應設置熔斷式防火閥。工藝排風管道不宜穿越防火分區的防火墻。

10.2.8 工藝排風管道穿越有耐火時限要求的建筑構件處，緊鄰建筑構件的風管管道應采用與建筑構件耐火時限相同的防火構造進行封閉或保護，每側長度不應小于2m或風管直徑的兩倍，并應以其中較大者為準。

10.2.9 工藝排風管道應采用不燃材料。

10.2.10 工藝排風系統管道及設備應設置防靜電接地裝置。

10.2.11 工藝排風系統不應兼作排煙系統使用。