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潔凈室無塵室凈化工程驗收要點和規范

潔凈室無塵室凈化工程驗收要點和規范

時間:2023-7-2 編輯:傳遞窗工程師

潔凈室無塵室凈化工程驗收要點和規范

『潔凈室』又稱為「無塵室」,是將一定空間范圍內之空氣的微塵粒子、有害氣體、細菌等污染物排除于外,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在一定需求范圍內,而給予特別設計之房間。也就是說這個受控的房間內之微塵粒子相當稀少。

潔凈室無塵室凈化工程在作為無塵凈化車間的一種,主要應用于對空氣雜質要求較高的行業,因為車間的潔凈度會影響這些行業的產品質量,所以必須要建造潔凈車間,作為生產場地。特別是電子制造行業,芯片、半導體等,都要求在潔凈車間下生產,我們在建成后,必須要進行驗收合格后才能投入使用,那么潔凈車間標準是怎樣的呢,如何驗收的呢?

潔凈室無塵室凈化工程驗收要點和規范

一、凈化工程潔凈度的驗收標準

在潔凈車間凈化工程驗收項目中,潔凈度的驗收是必不可少的,需要專業的儀器對潔凈車間的潔凈度進行測量合格后,方可視為潔凈度驗收合格,要根據有關規范和現場實際情況,制定驗收方案,一般可做以下操作:

1、在檢測前,我們要保證潔凈車間是完全封閉的狀態,保證凈化空調系統已連續運行至少24小時,保證潔凈車間內的潔凈情況。

2、在潔凈度檢測時,需在靜態情況下進行檢測,測試人員必須穿戴好潔凈服裝,避免產生人員污染情況。

3、可采用激光塵埃粒子計數儀作為檢測儀器,具體型號可根據現場情況進行選定。

4、測定點數的確定,根據國家有關標準,最少采樣點數為,NL=A0.5,其中A為無塵室面積(㎡),根據計算最少采樣點為NL=38,本次驗收設計采樣點為87個,具體采樣點詳見潔凈度檢測點平面圖。

5、潔凈車間凈化工程每個測定點每次采樣時間為1分鐘,每個點測試3次,取平均值。平均含塵濃度符合潔凈度萬級標準為合格。

二、潔凈車間凈化工程噪聲的檢測標準

在潔凈車間凈化工程驗收時,除了潔凈度需要進行檢測驗收外,還需要對室內噪音進行檢測,因為根據潔凈車間的標準來看,其室內噪音要保障在45分貝以下才算合格,因此需要對室內噪音進行驗收,其潔凈車間噪音驗收標準如下:

1、測噪聲儀器為數字式聲級計,一般只測A聲級。

2、測量位置距地面1.5米高,測試點位詳見噪聲檢測點平面圖。

3、各點≤65dB(A)為合格。

三、潔凈車間凈化工程溫濕度的檢測

我們在溫濕度驗收時,會有一系列的潔凈車間凈化工程驗收標準,在溫濕度檢測驗收時,凈化空調同樣需要連續運行至少24小時,因此,在溫濕度檢測時,通常會與潔凈度驗收相應進行。溫濕度要求,需要根據溫濕度波動范圍來進行判斷,除此之后我們還需要注意以下幾點:

1、測定前凈化工程空調系統應連續運行至少24小時。

2、對恒溫恒濕要求,根據溫濕度波動范圍的要求,測定宜連續進行8~48小時,每次測定間隔時間不大于30分鐘。

3、測試點距地面1~1.5m,交錯布置,距外墻表面應大于0.5米。

4、測點數,根據有關規范,面積≤50㎡,測點數為5個,每增加20~50㎡,增加3~5個點。本次驗收設計采樣點為130個。

5、測試儀器為溫濕度儀或棒狀酒精溫度計。

6、90%以上的測點達到的偏差值在設計參數內,則檢驗為合格。

四、室內照度驗收標準

1.檢測用照度儀(TES1330A) 測定。

2.測點平面離地面0.8~1.0m,按2m間距布置,測點距離墻面應不小于1.0m。測試點位詳見照度檢測點平面圖。

3.凈化車間內90%以上的測點值在設計值內,則檢驗為合格。

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